：公众比较熟悉的光刻机代差是基于193纳米光刻光源的干式DUV和浸液式DUV。而浸液式DUV光刻，可以通过多次曝光获得7纳米节点的能力。本文梳理极紫外EUV光刻机代差，以及过去30年的光刻机发展代差。明确这些技术代差，有助于讨论和思考我国的光刻机发展方式和组织模式。
在2022年6月底披露的资料中，IMEC公布了更新的未来十年的半导体工艺节点的规划，其中明确了两代EUV光刻技术代差：
IMEC和ASML的联合实验室将在2023年安装第一台高NA EUV光刻机系统；这是近十年光刻机发展历史上的一个里程碑的进展。
从1990-2030年的半导体发展路径图上，我们可以看到大致上，2005-2019年经历了两个主要代差：
在中文舆论里，前者便是铺天盖地的所谓“28nm”光刻机；后者便是所谓“7nm”光刻机。
而在我2021年10月份的考证里，国产DUV光源的测试计划是248nm的KrF DUV激光器，因此实际上这一款激光器并没有进入批量生产的阶段。这款光源对应上图的位置是1994年。
当然，我们不能把1994年当作技术差距的时间点。例如不排除同步开发的193nm的ArFDUV光源也已经进入光刻机厂商的测试环节；亦即达到193nm浸没式光刻水平，那么对应上图的位置是2005年左右。同样，根据2021年3月的公开记录而言，可以很容易判断目前可能还不具备规模量产的能力。
关于国产DUV光刻光源的考证原文：解读中国28nm光刻机（一）:深紫外DUV光刻机光源的曙光
在上述关于光刻机代差分析里，我们剥离出未来十年的2代代差和过去十年的3代代差，而这正对应于我国的光刻机研发工作的针对目标：
1，在过去十年的既有技术上的突破，显而易见，自2019年开始国际形势突变之后，我们不再具有轻易获得西方的成熟技术、并依托其上进行迭代式发展的模式。因此需要重新调整重大专项的目标和组织模式，以产业发展的基础技术储备作为重点攻关，而不是致力于我前文所述的“复制型制造开发”模式。
2，在未来十年的新技术上，目前全球仅ASML具有条件进行未来十年的2nm至5A的相关研究；这是建立在其过去十年的EUV光刻机垄断式发展基础上建立的垄断式发展优势。
如何打破这种由于先期产业优势建立起来的垄断式发展模式，创建符合中国产业发展需求、高效可行的先进光刻机发展模式，是我们接下来继续讨论的范畴。我认为，一则，我们需要理解当下“打破垄断”推进模式的弊端；二则，充分调查和理解外部突破的基本模式。
Jim博士可能忽略了一点，DUV光刻机技术相对落后，中国有自主需求，欧洲可以在卖产品时连带技术一起卖。因为过去中国获得的很多高新技术都有这个模式。比如德国MTU公司的693柴油机，你买得多了，我连图纸一起送给你。
“市场换技术”模式是需要好好论证的，它本质上涉及了科技价值判断。[作揖][作揖]
听说指甲上藏着很多健康信号平时剪指甲时你是否留意过它的变化？指甲上的“半月牙”和健康有关吗？注意！当指甲出现这些变化时千万别大意↓↓指甲上的“半月牙”与健康有关吗？指甲上的“半月牙”是指甲底部月牙形的白色痕迹，学名“半月痕”，是新生的、尚未完全角质化的指甲。
记者11月1日从教育部获悉，教育部等十七部门近日联合印发《家校社协同育人“教联体”工作方案》，提出力争到2025年，50%的县建立“教联体”，到2027年所有县全面建立“教联体”。
油价大跌！今日油价 11月2日最新油价（92号，95号汽油，柴油价格）
今日油价将在下周的11月6日24时调整，目前预计油价下调160元/吨（0.12元/升-0.15元/升）。车友们相互转告，油价重新大跌中了。今日油价（11月2日）92号，95号汽油与0号柴油请看下方油价列表。
日前，欧盟对从中国进口的电动汽车加征为期五年的反补贴税正式生效。对此，英国方面表示不打算追随欧盟这一决定。英国汽车行业从业者向总台记者表示，英国政府此举是正确的，有助于中英双方互利共赢。
来源：央视网 近期，利用“FaceTime”（苹果手机内置的视频通话应用）实施的诈骗案件高发。警方表示，诈骗分子利用了应用中可随意更改通话昵称的功能，冒充平台官方客服或公检法机关，制造恐慌情绪，诱导受害人上当，最终骗取钱财。
扩围提档！最新一轮大范围国家奖学金、助学金调整新政落地，享受这一新政的学生将更多，资助金额将更高。10月29日，财政部、教育部、人社部联合发布《关于调整高等教育阶段和高中阶段国家奖助学金政策的通知》（下称《通知》），宣告国家资助学生奖金新政落地。
今天（11月3日）开始，强冷空气将影响中东部大部地区，华北、黄淮等地的雾和霾天气将逐步减弱消散。长江中下游以北地区气温将下降6至10℃，局地降温可达12℃，多地最高气温将创今年立秋以来新低。同时，内蒙古中东部、东北地区等地有雨雪，海南岛等地强降雨来袭。
来源：中央气象台 中央气象台11月3日06时继续发布大风蓝色预警：预计，11月3日08时至4日08时，青海北部、内蒙古中部、山西北部、河北北部、天津、辽宁中南部等地将有5~6级、阵风7~8级的大风，沿海地区阵风可达9级；渤海、渤海海峡、黄海北部和中西部、台湾海峡将有7~8级、阵风
59岁的年纪，很多人都开始在家里享受儿孙绕膝的清闲了。她还在娱乐圈打拼，甚至还拿到了白玉兰最佳女演员奖。
为提升文章可读性，细节可能存在润色，请理智阅读，仅供参考!“要是没有英达，现在的梁欢一定不会两眼无光，沦为英达事业的牺牲品。”
